0898-08980898 13876453617
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金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，兴舰科技发展（常州）有限公司申请一项名为“一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法”的专利，公开号CN120432427A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明公开了一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法，涉及半导体制造过程中夹紧技术领域，一种陶瓷和金属复合静电卡盘制作方法，包括陶瓷外壳及金属基板，所述陶瓷外壳及金属基板之间设置有多组同心设置的同心圆环电极。本发明的陶瓷和金属复合静电卡盘在制作的过程中，使用压装设备将同心圆环电极压装于陶瓷外壳的埋入槽内部，在压装的过程中，通过压装组件、检测组件及传动组件等部件的相互配合，可以直观的判断同心圆环电极压装后是否存在异常，且结合画线异常的位置及异常的形状，可以判断同心圆环电极压装异常的位置及压装异常的原因，后续不需要重复进行检测，提高陶瓷和金属复合静电卡盘制备的效率的同时降低了卡盘制备的设备成本。
天眼查资料显示，兴舰科技发展（常州）有限公司，成立于2022年，位于常州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，兴舰科技发展（常州）有限公司参与招投标项目1次，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可4个。
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